반응형 Photolithography1 반도체 공정 3 포토리소그래피(Photolithography) 공정 반도체와 디스플레이 산업은 현대 기술과 전자 제품의 핵심입니다. 그 중에서도 포토리소그래피(Photolithography) 공정은 이 산업 분야에서 핵심적 역할을 수행합니다. 이 글에서는 포토리소그래피 공정의 개요, 기술, 발전 과정, 그리고 미래에 대해 자세히 살펴보겠습니다. 반도체 공정 3 포토리소그래피 공정의 개요 포토리소그래피는 빛을 이용하여 반도체나 디스플레이 기판에 미세한 패턴을 형성하는 과정입니다. 이 기술의 이름은 사진술과 유사성 때문에 붙었습니다. 반도체의 트랜지스터나 디스플레이의 픽셀과 같이 미세한 패턴은 포토리소그래피 공정을 통해 기판에 정밀하게 형성됩니다. 포토리소그래피 공정은 다섯 가지 주요 단계로 나눌 수 있습니다. 포토레지스트 코팅(PR Coating): 감광성 물질인 포토레지.. 2023. 10. 16. 이전 1 다음 반응형
